产品介绍
技术参数
基本工作模式 | 轻敲模式、RMS-Z曲线测量 |
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选配工作模式 | 接触模式、F-Z力曲线测量、摩擦力/侧向力、振幅/相位、磁力和静电力 |
样品尺寸 | Φ≤90mm,H≤20mm |
扫描范围 | XY向20um,Z向2um |
扫描分辨率 | XY向0.2nm,Z向0.05nm |
样品移动范围 | 0~13mm |
光学参数 | 光学放大倍数4X,光学分辨率2.5um |
扫描参数 | 扫描速率0.6Hz~4.34Hz,扫描角度0~360° |
扫描控制 | XY采用18-bit D/A,Z采用16-bit D/A |
数据采样 | 14-bit A/D、双16-bit A/D多路同步采样 |
反馈方式 | DSP数字反馈 |
反馈采样速率 | 64.0KHz |
通信接口 | USB2.0/3.0 |
运行环境 | WindowsXP/7/8/10操作系统 |